光源系统!
汉斯的心臟像是被一只手狠狠攥住!
他虽然无法看清全貌,但那暴露出的部分结构他还是认出了一些。
可虽然认出来了,却还是陌生。
独特的能量耦合接口。
非传统的冷却迴路设计。
以及某种他从未在任何文献或產品中见过的光束整形组件。
每一处都散发著一种超越现有科技水平,令人心悸的气息!
其复杂程度和集成度,远非asl引以为傲的euv光源可比!
这这是什么?!
就在他震惊得几乎无法思考时,他的目光扫到了站在那台改装光刻机控制台前的一群人。
魏天华和陈进一果然在这里!
他们身边还站著一位神情专注、头髮有些凌乱的中年工程师严正行。
但让汉斯瞳孔骤然收缩的,是站在魏天华他们对面的那个人!
那人穿著一身笔挺的西装,气质儒雅,手里拿著一个平板电脑,正指著屏幕上的数据与魏天华等人交流。
汉斯认得这张脸!
他是国际专利合作条约pct组织的高级专利审查官,戴维·诺顿!
一个专门负责审查全球范围內最尖端,最具商业潜力技术专利的权威人物!
pct的审查官?!
他为什么会在这里?!
在这个被军方严密守护的核心实验室里?!
一股冰冷的寒意瞬间从汉斯的脚底窜上头顶!
他猛地意识到,魏天华刚才那个神秘电话里的“诺顿先生”是谁!
那个“令人惊嘆”、“价值极高”的专利审查
指的莫非就是眼前这台古怪光刻机里,那个前所未见的光源系统!
汉斯的心臟狂跳,几乎要衝破胸膛。
他贪婪地透过那道宝贵的观察窗缝隙向內窥视,目光死死锁定在超净间內部。
它正发出低沉而稳定的嗡鸣,机械臂流畅地运送著晶圆。
而在光刻机周围,除了海微的工程师,还有好几位佩戴著pct徽章的工作人员!
他们手持平板或专业记录设备,围著那台暴露了部分內部结构的光刻机,脸上无一例外地写满了惊嘆和难以置信!
他们正与海微的工程师们热烈地交流著,手指不断指向那奇特的光源结构和机器运行的实时数据。
神情激动,如同发现了新大陆的探险家。
pct专员!
不止一个!
他们在现场审查!
就在这机器运行时!
汉斯感觉自己快要窒息了。
他必须看得更清楚!
特別是控制台的数据!
那才是关键!
他像著了魔一样,沿著观察窗的墙壁急切地寻找著更好的角度。
突然,他发现侧前方一个用於设备维护的狭窄通道似乎无人看守。
尽头似乎有一个更靠近中心控制台的观察口!
机会!
他顾不得许多,像做贼一样,弓著身子,快速地溜进了那条通道。
幸运的是,通道尽头果然有一个稍大的观察窗口,角度正对著中心控制台!
汉斯几乎是扑了上去,整张狂热的脸紧紧贴在冰冷的观察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圆,死死盯住控制台上方那块巨大的主屏幕!
屏幕上,瀑布般的数据流飞速刷新。
光源输出功率:xxx kw
曝光晶圆累计:第xxx片(持续运行)
实测线宽:73 n (套刻精度< 20 n)
“我的上帝啊!”
一声无法抑制,充满极度震惊和难以置信的惊呼。
如同被掐住脖子的鸭子发出的嘶鸣,猛地从汉斯喉咙里爆发出来!
他完全忘记了身处何地!
他用力揉搓著自己的眼睛,仿佛屏幕上的数据是恶魔製造的幻象!
他再看!
再看!
那恐怖的转化效率!!
那足以支撑7纳米量產的实测线宽!
这些数据每一项都像一记重锤,狠狠砸在他作为asl技术总监的骄傲和认知上!
这怎么可能?!
这完全顛覆了现有光刻技术的物理和工程极限!
这根本就不是他们asl的euv技术路线!
这是这是全新的、划时代的、足以彻底埋葬现有光刻体系的怪物!
他像一尊石化的雕像,整张脸死死贴在玻璃上。
眼神呆滯,嘴巴无意识地张开,大脑一片空白
只剩下屏幕上那冰冷而恐怖的数据在疯狂旋转!
他亲眼看著那台机器流畅地运作,看著那束他无法理解的光源系统稳定地输出著毁灭性的能量!
他仿佛看到了asl帝国大厦的根基,正在这遥远东方的实验室里,被这台简陋外壳包裹的怪物,一寸寸地瓦解!
这声失態的惊呼,在安静的核心区域如同平地惊雷!
超净间內,所有交谈瞬间停止!
所有人的目光如同探照灯般,齐刷刷地射向了汉斯藏身的那个观察窗口!
糟了!
当汉斯意识到麻烦时,已经无可挽回。
他看到魏天华脸上的血色唰地一下褪得乾乾净净,变得惨白!
对方眼中爆发出毫不掩饰的惶恐与惊怒!
那眼神,再没有一丝一毫先前在机房时的谦卑或虚心。
那是被触及核心逆鳞的狂暴!
“谁?!警报!拉响最高警报!!”
魏天华几乎是嘶吼出声。
令人心悸的最高级別入侵警报瞬间响彻整个核心区域!
走廊里红光疯狂闪烁!
沉重且密集的脚步声如同战鼓般从四面八方传来!
是那些全副武装的安保人员!
“快!保护现场!封锁所有数据!”
魏天华对著身边的工程师和pct专员大吼。
汉斯被这突如其来的变故和刺耳的警报嚇得魂飞魄散!
他猛地从震惊中回过神来,下意识地想后退逃离,但双脚却像灌了铅。
他看到魏天华等人冲了出来,脸上带著前所未有的可怕怒容。