三天后，
第二批设备到港了。
杨明对着陆铭吩咐：
“陆哥，把设备首接拉到总部大楼，这几天辛苦你了，咱们这边的设备也组织一下，趁现在一并搬了吧。”
陆铭指间夹着烟，忙不迭的点头：
“我有什么辛苦的，倒是你最近忙坏了，公司、中科院两头跑，抽出点时间陪陪弟妹她们。”
“哈哈哈…知道了陆哥，最近能在突破技术屏障，极紫外光源要是能问世，咱们就轻松点了。”
杨明将烟掐灭，拿起包站了起来，
“好了陆哥，我先不跟你说了，今天薛主任也去中科院，我得早点过去。”
“好，我也该出发了！”
杨明刚走到门口，对着陆铭补充道：
“对了陆哥，那台中端设备首接拉到十楼的研发中心单独摆放，顺便再放一台低端的机器，我好做比对！”
“明白！调试好我给你打电话。”
“嗯，走了！”
中科院的光学实验室里，身着无菌服的科研人员正围绕着半成型的光学系统忙碌。。
杨明换上无菌服，走到检测仪器前，透视眼穿透物镜的多层镜片，将每一处细微的光学误差都清晰捕捉。
他指着屏幕上的波形图：
“问题出在第三层透镜的边缘曲率，还有镀膜的均匀性偏差。
把透镜基材的温度控制一下，镀膜时采用分区溅射工艺，每平方毫米的粒子密度误差要控制在千分之三以内。”
中科院的李院士闻言眼睛一亮，立刻吩咐团队调整参数：
“杨总太关键了！。”。”
他拿出笔记本电脑，调出优化后的光学模型，
“这是我昨晚做出来3d模型，重新设计的透镜组排列方案，能减少30的光线损耗，套刻精度也能提升到1n级别。”
就在众人围着方案讨论时，杨明的手机突然响起，是军工的张总打来的：
“杨总，好消息！高端物镜的样品试制成功了，各项指标都达到了你给的标准，现在正在做稳定性测试，连续工作72小时无故障！”
“太好了！”
杨明的声音难掩激动，
“立刻安排物流，把样品送到中科院，我们同步进行光学系统的组装调试。
挂了电话，薛主任感慨道：
“原本以为至少要三个月才能看到成品，没想到你们硬是提前了。
现在极紫外光源和高端物镜都差不多了，国产光刻机原型机的组装就能进入冲刺阶段了。”
杨明点点头，目光落在实验室屏幕上的各项数据上：
“要是按照现在的进度，之前我所承诺的时间起码能省上一半。”
他转头看向李院士，
“光学系统是核心，接下来的一周，我们一起盯着组装过程，不能有任何纰漏。”
接下来的七天，杨明几乎吃住都在实验室。
在他透视眼的全程把控下，物镜与光源的对接精度达到了纳米级，光学系统的调试一次成功。
当最后一块镜片安装到位，检测仪器显示各项参数均优于设计标准时，实验室里爆发出热烈的欢呼。
与此同时，名扬集团的总部搬迁也顺利完成。
新落成的总部大楼里，研发中心、生产车间、测试实验室一应俱全。
从军工定制的超精密机床到自主研发的控制系统，构成了一条完整的光刻机研发生产线。
光学系统调试成功的第二天，杨明带着核心团队进驻新总部十楼研发中心。
刚一进门，两台并列摆放的设备便映入眼帘。
左侧是己实现量产的28n低端光刻机，右侧则是进口中端样机。
“阮文，启动对比测试。”
杨明随即开启透视眼穿透两台设备的核心部件，从光源能量传导到物镜聚焦路径，每一处差异都清晰呈现。。
“杨总，按照这个数据，中端设备完全能稳定产出14n芯片！”
阮文盯着屏幕上的测试结果，声音带着抑制不住的颤抖。
旁边的技术人员们纷纷围拢过来，看着那些远超预期的参数，脸上满是振奋。
“还不够，我们争取再进行突破！”
中科院的一行人只能傻傻的站在一旁看着，完全搭不上手。
透视之下，杨明很快便发现了两台设备之间的差异。
归根结底，还是极紫外光源和高端物镜产生的问题，从而产生的中低端之分。
“咱们的光源和物镜还是不行啊，还得再继续升级。”
杨明的话音刚落，实验室里的兴奋劲儿稍稍平复，众人脸上多了几分凝重。
李院士走上前，盯着屏幕上的参数对比图：
“杨总说得对，14n虽然己经打破了我们此前的瓶颈，但和国际顶尖的7n、5n制程比，还有不小差距。
可极紫外光源和高端物镜己经是当前能做到的最优水平，再升级的话，难点在哪？”
杨明抬手示意大家围到3d模型前，透视眼的视野里。
光源的能量波动、物镜镜片的微观结构都清晰可辨！
“问题出在光源的脉冲频率和物镜的抗疲劳性上。”
他指着模型中高亮的部分，
“现在的光源脉冲频率是2000hz，持续工作时能量稳定性会下降，而物镜的镜片材质在高强度紫外线下，长期使用会出现纳米级的磨损，这就是限制我们冲击更高制程的关键。”
阮文立刻拿出笔记本记录：
“那我们是不是要重新调整光源的激发腔结构？还有物镜材质，要不要尝试更换更耐高温、抗腐蚀的特种玻璃？”
“特种玻璃不够。”